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送風(fēng)量大
潔凈度的提高和維持是半導(dǎo)體器件廠房空調(diào)系統(tǒng)設(shè)計(jì)和運(yùn)行的重要任務(wù)，這一任務(wù)的完成要依賴很高的送風(fēng)量，是以高能耗為代價(jià)的。就送風(fēng)量而言，一般辦公大樓換氣次數(shù)為10h-1左右，而大規(guī)模半導(dǎo)件器件廠房內(nèi)，為了滿足相應(yīng)的潔凈度要求，需要保證很高的換氣次數(shù)，致使循環(huán)風(fēng)量非常大。100級(jí)潔凈室的換氣次數(shù)可選到400h-1，10000級(jí)潔凈室的換氣次數(shù)日選到40 h-1，100000級(jí)潔凈室的換氣次數(shù)也要30 h-1。
彩鋼板安裝：
1）彩鋼板的制作是在工廠內(nèi)進(jìn)行，通過先進(jìn)的生產(chǎn)工藝控制,質(zhì)量保證程度高。
2）施工方法
就位準(zhǔn)備：彩鋼板是預(yù)制建筑板材，可短不可長，可窄不可寬。以小塊組成大面，一次成活。只有保證每一塊板位置準(zhǔn)確，才能保證全部板材安裝的質(zhì)量和零配件的安裝質(zhì)量。
連接可靠：彩鋼板與天花龍骨的連接、板材與板材的連接、板材與配件的連接是保證板材安全使用的主要環(huán)節(jié)，必須認(rèn)真完成每一點(diǎn)的連接，保證可靠性。
密封防漏：板材組成的天花,必須保證縱橫縫搭接嚴(yán)密,接縫和外露連接點(diǎn)的密封可靠至關(guān)重要,只有保證每一線、每一點(diǎn)密封良好,才能保證質(zhì)量。
工程配合：配合天花開孔收邊密封，以保證整個(gè)工程進(jìn)度。
現(xiàn)如今，潔凈技術(shù)已廣泛應(yīng)用于各行各業(yè)的工業(yè)產(chǎn)品生產(chǎn)或其他要求防止粒子污染、微生物污染的環(huán)境控制，由于各行業(yè)的產(chǎn)品特性不同、各個(gè)產(chǎn)品的生產(chǎn)工藝流程不相同，使用要求不一樣，因此要求控制環(huán)境的內(nèi)容、指標(biāo)均不會(huì)相同。所謂無塵車間的環(huán)境控制的內(nèi)容應(yīng)該包括：空氣凈化、潔凈建筑、與產(chǎn)品直接接觸的水或氣體或化學(xué)品和生產(chǎn)設(shè)備、工器具等的污染物控制以及微振動(dòng)、噪聲、靜電的控制、防止等。
所以無塵車間的設(shè)計(jì)不僅要求對室內(nèi)的空氣進(jìn)行凈化達(dá)到規(guī)定的空氣潔凈度等級(jí)，還必須防止因無塵車間的建造用材料、裝飾方式不當(dāng)帶來的污染，有的無塵車間還要求供給純水、超純氣體和高純的化學(xué)品等。
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