潔凈廠房空調(diào)系統(tǒng)特點(diǎn)
潔凈廠房空調(diào)系統(tǒng)與一般民用建筑的空調(diào)系統(tǒng)的不同,它首先對控制區(qū)的潔凈度有很高要求。導(dǎo)體器件廠房內(nèi),在硅襯底上只要落有電路線寬1/10~1/3大小的塵埃,就可能導(dǎo)致芯片電路短路。如今,半導(dǎo)體集成電路的發(fā)展突飛猛進(jìn),近英特爾公司更是推出了采用32
nm線寬的處理器芯片,把生產(chǎn)環(huán)境的潔凈度控制推向了。另外,潔凈廠房空調(diào)系統(tǒng)除對潔凈度要求較高外,還對溫度、濕度、震動(dòng)、噪音等都有不同程度要求。
同時(shí),由于半導(dǎo)體器件生產(chǎn)工藝的特點(diǎn),要求潔凈廠房內(nèi)全天(24h)保持相應(yīng)的潔凈度,目此,潔凈空調(diào)系統(tǒng)(包括排風(fēng)系統(tǒng))、為其配套的冷、熱源及相應(yīng)的輸送系統(tǒng)需每天24
h運(yùn)行,這也與其他空調(diào)系統(tǒng)極其不同。運(yùn)行時(shí)間的增長也使其空調(diào)系統(tǒng)的節(jié)能更具有潛力和意義。
根據(jù)多年經(jīng)驗(yàn)各種不同的加濕器的應(yīng)用范圍不同: 如:淋水、濕膜、高壓噴霧等水加濕器,其特點(diǎn)是加濕量大、投資費(fèi)用低,而相對濕度控制精度較差,因此多用于相對濕度要求不嚴(yán)格(> ±10%),加濕量很大的工業(yè)廠房和一般舒適用空調(diào)房間的空調(diào)系統(tǒng)加濕。
而相對濕度控制精度高的干蒸汽加濕和電極(電熱)式加濕因投資較高則多用在相對濕度精度要求嚴(yán)格的恒溫恒濕潔凈廠房的空調(diào)系統(tǒng)加濕中。
對于以微生物為控制對象的生物潔凈室(例如:生物制藥、潔凈手術(shù)室、生物安全實(shí)驗(yàn)室、實(shí)驗(yàn)無菌動(dòng)物飼養(yǎng)室等)其重點(diǎn)要控制微生物的產(chǎn)生和傳播,因?yàn)槌睗窈退质俏⑸镒躺头敝车臈l件,因此水加濕的淋水、濕膜、高壓噴霧等方法不能用在生物潔凈室中,只能采用干蒸汽加濕和電極(電熱)式加濕。
潔凈廠房建筑方式可分為土建結(jié)構(gòu)和裝配式兩種,其中普遍采用裝配式。裝配式潔凈廠房系統(tǒng)主要由初,中,高三級空氣過濾的空調(diào)送風(fēng)回風(fēng)和排風(fēng)系統(tǒng);動(dòng)力及照明系統(tǒng);工作環(huán)境參數(shù)的監(jiān)測報(bào)警消防和通訊系統(tǒng);人和物流系統(tǒng);工藝管路系統(tǒng);維護(hù)結(jié)構(gòu)及靜電地面處理等各方面所要求的實(shí)施內(nèi)容組成,形成空調(diào)凈化系統(tǒng)工程所包含的整個(gè)設(shè)備和器材的配套和建筑安裝內(nèi)容。
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