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洗手消毒設施 車間入口處要設置有與凈化車間內(nèi)人員數(shù)量相適應的洗手消毒設施，洗手龍頭所需配置的數(shù)量，配置比例應該為每 10 人1 個，200 人以上每增加20人增設1個。洗手龍頭必須為非手動開關(guān)，洗手處須有皂液器，并有熱水供應，出水為溫水。 盛放手消毒液的容器，在數(shù)量上也要與使用人數(shù)相適應，并合理放置，以方便使用。干手用具必須是不會導致交叉污染的物品，如一次性紙巾，消毒毛巾等。 在凈化車間內(nèi)適當?shù)奈恢茫瑧惭b足夠數(shù)量的洗手，消毒設施和配備 相應的干手用品，以便工人在生產(chǎn)操作過程中定時洗手，消毒，或在弄臟手后能及時和方便地洗手。 從洗手處排出的水不能直接流淌在地面上，要經(jīng)過水封導入排水管。
衛(wèi)生間 為了便于生產(chǎn)衛(wèi)生管理，與凈化車間相連的衛(wèi)生間，不應設在加工作業(yè)區(qū)內(nèi)，可以設在更衣區(qū)內(nèi)。衛(wèi)生間的門窗不能直接開向加工作業(yè)區(qū)，衛(wèi)生間的墻面，地面和門窗應該用淺色，易清洗消毒，耐腐蝕，不滲水的材料建造，并配有沖水，洗手消毒設施，窗口有防蟲蠅裝置。
凈化車間之作用在于控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸的大氣的潔凈度以及溫濕度，使產(chǎn)品能在一個良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造，此空間我們稱之為凈化車間。按照國際慣例，無塵凈化級別主要是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標準的粒子數(shù)量來規(guī)定。也就是說所謂無塵并非100%沒有一點灰塵，而是控制在一個非常微量的單位上。當然這個標準中符合灰塵標準的顆粒相對于我們常見的灰塵已經(jīng)是小的微乎其微，但是對于光學構(gòu)造而言，哪怕是一點點的灰塵都會產(chǎn)生非常大的影響，所以在光學構(gòu)造產(chǎn)品的生產(chǎn)上，凈化車間無塵是必然的要求。
每立方米將小于0.3微米粒徑的微塵數(shù)量控制在3500個以下，就達到了國際無塵標準級。目前應用在芯片級生產(chǎn)加工的無塵標準對于灰塵的要求高，這樣的高標主要被應用在一些等級較高芯片生產(chǎn)上。5μm及以下的微塵數(shù)量被嚴格控制在每立方米1000個以內(nèi)，這也就是業(yè)內(nèi)俗稱的1K級別。
潔凈室工程施工需結(jié)合實際情況綜合考量后，再遵守相關(guān)的標準、規(guī)范，按具體詳細的施工圖紙制定施工計劃，整個凈化工程施工流程循序漸進地有效執(zhí)行下去，以確保潔凈車間建設質(zhì)量能符合要求，達到預期的效果。
潔凈室工程施工流程：放線測量→潔凈室工程地面鑿平處理→通風管道安裝→潔凈室工程圍護結(jié)構(gòu)安裝→潔凈室工程天花安裝→潔凈室工程PVC地板施工→儀器設備安裝→通風設備及風口安裝→設備調(diào)試→全系統(tǒng)測試
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